回收碳化硅

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    网页回收可再用于hemt外延的碳化硅衬底在技术上非常具有挑战性，因为回收的碳化硅衬底不仅需要表面光滑而且衬底表面不能有任何微量的化学污染。 目前常规的碳化硅回收技术涉及机械减薄和抛光，由于各种抛光剂与研磨液的使用，很容易引入化学污染。 此外，常规回收方法由于使用研磨与抛光工艺会使碳化硅衬底的厚度变薄，而衬底厚度变化网页5本发明的主要目的是提供一种碳化硅单晶生长及加工过程中碳化硅废料的回收处理方法。 用来除去碳化硅废料中含量较多的碳、硅杂质和含量较少的微量杂质，提纯回收碳化硅粉料，并把碳化硅粉料再用于单晶生长，以达到碳化硅废料的循环回收再利用，降低生产成本，减少环境污染。 6为达到以上目的，本发明提供以下技术方案： 7根据各组分碳化硅单晶生长中废料的回收处理方法与流程

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